• Türkçe
  • English
Ders Kodu: 
ME 462
Ders Tipi: 
Alan Seçmeli
Teori Saati: 
3
Uygulama Saati: 
0
Kredi: 
3
AKTS: 
5
Dersin Dili: 
İngilizce
Dersin İçeriği: 

Mikroüretim metodlarına giriş. İnce-film baskısı, litografi, oksitlenme ve diğer üretim teknikleri. Çok kullanıcılı MEMS (mikro elektro-mekanik sistemler) üretim merkezleri. Mikrosistemlerin elektriksel, mekanik ve termal alanda incelenmesi. MEMS tasarım, analiz ve karakterizasyonu.

Dikey Sekmeler