Dersin Dili:
İngilizce
Dersin İçeriği:
Mikroüretim metodlarına giriş. İnce-film baskısı, litografi, oksitlenme ve diğer üretim teknikleri. Çok kullanıcılı MEMS (mikro elektro-mekanik sistemler) üretim merkezleri. Mikrosistemlerin elektriksel, mekanik ve termal alanda incelenmesi. MEMS tasarım, analiz ve karakterizasyonu.